石化行业：小荷才露尖尖角 电子特气国产化迎历

　　电子特气被称为半导体材料的 “粮食”和 “源”。在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片生长到器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体，电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子气体成本占IC材料总成本的5%-6%，虽然看似占比不大，很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。电子气体纯度每提高一个数量级，都会极大地推动半导体器件质的飞跃。

　　电子特气行业的技术壁垒。一是深度提纯技术难度较大。以硅烷为例，将其纯度由4N提纯到6N中间有漫长的道路，除了要解决普通气态杂质的纯化问题，还要将金属元素净化到10-9级至10-12级。二是包装和储运跟不上。超高纯气体的生产和应用都要求使用高质量的气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口，以避免二次污染的发生。三是分析检验观念落后。国内对电子气体生产应用领域分析检测技术研究开发尚不够重视。

　　目前部分产品国产化已获突破。目前国内在高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气、氖气、高纯CL2、高纯砷烷和高纯锗烷等均获得突破。截至2019年，半导体制程过程中用到的83种电子气体，其中有35%已经实现本土化，还有35%正在本土化，30%还未进行本土化。但大部分本土电子气体的生产和供应商规模较小，不能够为用户提供全方位的服务，目前大多通过低价竞争的方式占领较小的市场份额，利润很薄，甚至亏损。，知识产权的保护也形同虚设。

　　投资建议电子特气行业从业者较多，主要的参与者有中船重工第七一八研究所、南大光电、巨化股份、【()、】、中昊光明化工、洛阳黎明化工、佛山华特气体、绿菱电子和大连科利德等。我们看好电子特气行业未来的发展空间，相关上市公司有望充分受益，对电子特气子行业予以“增持”评级。重点推荐标的和远气体、华特气体、雅克科技、昊华科技和南大光电。其中和远气体和华特气体在近期已完成招股上市，其募投项目都将大幅提升公司的工业气体产能；半导体材料龙头雅克科技因下游半导体制造企业的技术突破和半导体国产化进程有望营收持续走高；昊华科技主要得益于未来5G建设和军工业务发展，公司未来发展可期；专注于电子特气研发的南大光电现已形成了35吨高纯磷烷、15吨高纯砷烷的生产能力，并在今年开始扩产，未来发展可期。

　　风险分析电子产品需求增长低于预期，进口替代进程低于预期。